|
Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) รุ่น CLARA ยี่ห้อ TESCAN
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดสมรรถนะสูงชนิดฟิลด์อิมิชชัน (FE-SEM) มีความสามารถในแจกแจงรายละเอียดของภาพได้ตั้งแต่ 2 - 2,000,000 เท่า จึงสามารถใช้ศึกษาโครงสร้างและวิเคราะห์พื้นผิวตัวอย่างได้จนถึงระดับนาโน ประกอบด้วยอุปกรณ์วิเคราะห์ธาตุเชิงพลังงาน (Energy Dispersive X-Ray Spectrometer : EDS) ใช้สำหรับศึกษาวัดการกระจายตัว และองค์ประกอบของธาตุได้ทั้งแบบเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ นอกจากนี้ยังติดตั้งอุปกรณ์สแกนภาพแบบส่องผ่าน (Scanning transmission electron microscopy : STEM) ใช้สำหรับการวิเคราะห์ตัวอย่างที่เตรียมให้บาง เพื่อให้เห็นโครงสร้างที่ส่องผ่านซึ่งแสดงผลได้ใกล้เคียงกับการถ่ายภาพด้วยกล้อง TEM
ข้อมูลทางเทคนิค
1. ระบบอิเล็กตรอนออพติกชนิด Schottky field emission gun
2. ปรับเลือกค่า accelerating voltage ได้ตั้งแต่ 0.05-30 kV
3. ให้กำลังขยายของภาพตั้งแต่ 2-2,000,000 เท่า
4. ปรับเลือกค่า probe current ได้ในช่วง 2 pA ถึง 400 nA
5. ความสามารถในการแจกแจงรายละเอียดของภาพ (Resolution)
HV mode 0.9 nm @ 15 kV (SE), 1.4 nm @ 1 kV (SE), 0.8 nm @ 30 kV (STEM)
LV mode 2.0 nm @ 30 kV (BSE), 1.8 nm @ 30 kV with GSD
6. มีตัวตรวจวัด (Detector) ดังนี้
- Everhart-Thornley chamber detector (E-T) ให้สัญญาณภาพ SE ที่ HV
- Black scattered electron detector (BSE) ให้สัญญาณภาพ BSE ที่ LV และ HV
- In column BSE Energy-Filtered Multidetector (MD) ให้สัญญาณภาพ SE และ BSE ที่ HV
- In column axial BSE/SE detector (Axial) ให้สัญญาณภาพ SE และ BSE ที่ HV
- Gaseous SE detector (GSD) ให้สัญญาณภาพ SE ที่ LV
- STEM detector แสดงภาพ Bright Field, Dark Field และ High Angle Dark Field
- EDS detector รุ่น ULTIM® Max, Oxford, Aztec software มีความละเอียดในการแยกแยะ < 127 eV เมื่อวัดด้วย MnK
|